Чэмшунпаліравальная пласціна з аксіду алюмініюПаваротны стол выраблены з высакаякаснага аксіду алюмінію з утрыманнем 99,7-99,9%. Высакаякасная кераміка з аксіду алюмінію адрозніваецца выдатнай калянасцю і зносаўстойлівасцю пры паліроўцы пласцін і захоўвае добрую форму паверхні на працягу доўгага перыяду часу. Яна выраблена метадам PIBM. Яна з'яўляецца членам паўправадніковай прамысловасці дзякуючы сваёй беспрэцэдэнтнай тэрмічнай і памернай стабільнасці, а таксама ўстойлівасці да суровых умоў навакольнага асяроддзя абсталявання для апрацоўкі мікрачыпаў.
Хіміка-механічная планарызацыя (ХМП), таксама вядомая як хіміка-механічная паліроўка, — гэта тэхналогія ў працэсе вытворчасці паўправадніковых прылад. Яна выкарыстоўвае хімічную карозію і механічныя сілы для выраўноўвання крэмніевых пласцін або іншых матэрыялаў-падкладак падчас апрацоўкі.
Абсталяванне CMP у асноўным падзелена на дзве часткі: паліравальную частку і ачышчальную частку. Паліравальная частка складаецца з 4 частак, а менавіта з 3 паваротных паліравальных сталоў і модуля загрузкі і разгрузкі пласцін. Ачышчальная частка адказвае за ачыстку і сушку пласціны для дасягнення яе «высыхання ўнутры і знутры». Ва ўсім паліравальным абсталяванні важную ролю адыгрывае аксід алюмінію керамічны выраб.
Алюмінавая кераміка звычайна выкарыстоўваецца для вырабу дыскаў для паліроўкі пласцін, якія патрабуюць высокай чысціні, высокай хімічнай устойлівасці і добрага кантролю формы і шурпатасці паверхні.
Керамічны шліфавальны дыск Chemshun з чысцінёй Al2O3 99,7% выраблены з перадавых керамічных матэрыялаў, якія падыходзяць для дробнага шліфавання розных матэрыялаў, асабліва для шліфавання далікатных матэрыялаў, такіх як пласціны, кераміка і шкло. Наш керамічны шліфавальны дыск можа быць выраблены ў розных памерах у залежнасці ад розных мадэляў шліфавання і паліроўкі.
Час публікацыі: 30 мая 2025 г.