З хуткім развіццём паўправадніковай прамысловасці маштабы галіны рэзка ўзраслі, а абсталяванне для вытворчасці паўправаднікоў працягвала развівацца ў плане дакладнасці і складанасці. Паколькі кераміка мае такія перавагі, як высокая цвёрдасць, высокі модуль пругкасці, высокая зносаўстойлівасць, высокая ізаляцыя, каразійная стойкасць, нізкае пашырэнне і г.д., яна можа выкарыстоўвацца ў якасці дэталяў для паліроўкі крэмнію, абсталявання для эпітаксіяльнай/акісляльнай/дыфузійнай тэрмічнай апрацоўкі, літаграфічных машын, абсталявання для нанясення, абсталявання для травлення паўправаднікоў, машын для іоннай імплантацыі і іншага абсталявання, даследаванні, распрацоўкі і вытворчасць дакладных керамічных дэталяў непасрэдна ўплываюць на развіццё паўправадніковай прамысловасці. Тэхнічныя патрабаванні да яе падрыхтоўкі становяцца ўсё вышэйшымі.
Высокачысты аксід алюмінію, 99,7%-99,9% аксіду алюмінію.
Высокая механічная трываласць, высокая зносаўстойлівасць, высокая электрычная ізаляцыя, высокая хімічная стабільнасць, добрая цеплаўстойлівасць і каразійная стойкасць. У цяперашні час выкарыстанне керамічных шліфавальных дыскаў для шліфавання паўправадніковых крэмніевых пласцін з'яўляецца найбольш перадавым і сучасным метадам шліфавання. Для шліфавання разрэзаных крэмніевых пласцін выкарыстоўваецца двухбаковы працэс шліфавання, і якасць шліфавальнай пласціны паляпшаецца за кошт паляпшэння працэсу шліфавання (матэрыял дыска, шліфавальная вадкасць, ціск шліфавання і хуткасць шліфавання і г.д.). У прыватнасці, выкарыстанне керамічных пласцін замест чыгунных дазваляе пазбегнуць шліфавання асноўнай паверхні пласціны, выкліканага драпінамі або забруджваннем, паменшыць увядзенне іонаў металаў, скараціць наступную апрацоўку крэмнію, скараціць час наступнага працэсу (карозіі), павысіць эфектыўнасць вытворчасці і знізіць страты крэмнію пры апрацоўцы, значна палепшыць выкарыстанне крэмнію.
Паліравальная пласціна з высокім утрыманнем гліназёмувыкарыстоўваецца ў паўправадніковай, нафтавай, хімічнай, фотаэлектрычнай, вадкакрышталічнай і іншых галінах прамысловасці, такіх як механічныя дэталі, электронныя дэталі, індукцыйныя дыскі мікрахвалевай печы, ізаляцыйныя матэрыялы і іншыя дэталі, паўправадніковыя прыборы, вакуумнае абсталяванне, абсталяванне для вытворчасці вадкіх крышталяў і іншыя дэталі. Вялікі памер і высокачыстая аксід алюмінію керамічная мае важнае прымяненне ў сапфіравай прамысловасці і вытворчасці паўправадніковых чыпаў. Яна з'яўляецца ключавой апорай і расходным матэрыялам для хіміка-механічнай паліроўкі (CMP) сапфіравых і паўправадніковых крэмніевых пласцін. Вялікі памер і высокачыстая аксід алюмінію керамічная таксама можа быць выкарыстана ў якасці алюмініевай падкладкі для ВК-дысплеяў.
Час публікацыі: 27 чэрвеня 2024 г.